AL18微波等離子去膠清洗機：AL18等離子系統適用于小批量生產和研發的*設備。并且，此系統可以滿足360度的芯片封裝需要。AL18系統是一款創新型的通用設備，可選配旋轉轉盤，及ECR（電子回旋共振）裝置。

微波等離子清洗去膠

AL18微波等離子去膠清洗機概述：AL18等離子系統適用于小批量生產和研發的*設備。并且，此系統可以滿足360度的芯片封裝需要。AL18系統是一款創新型的通用設備，可選配旋轉轉盤，及ECR（電子回旋共振）裝置。

AL18微波等離子去膠清洗機技術參數：

• 腔體:鋁
• 容積:18公升
• 尺寸:寬度250毫米×深度290毫米×高度250毫米
• 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈式門
• 微波源：2.45GHz，可調50-600W
• 氣體進氣:1路數字顯示的質量流量器控制
• 真空計: Pirani,1-1000Pa
• 真空系統：DN 25 ISO-KF
• 真空閥：電動氣動閥

系統控制：

• PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
• 7”觸摸屏、圖形用戶界面
• Windows Office兼容
• 存儲處理數據和錯誤信息，處理數據輸出
• 工藝參數圖形曲線的 監測
• 自動或手動操作

選配：

• 真空泵 ： 雙級真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
• 氣路：額外的數字顯示質量流量控制器
• 旋轉臺：鋁，直徑200mm,速度可調
• ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體