<b id="w0gym"></b>
    <menuitem id="w0gym"><thead id="w0gym"></thead></menuitem>
    <nobr id="w0gym"></nobr>

    <nobr id="w0gym"></nobr>
    <b id="w0gym"><delect id="w0gym"><i id="w0gym"></i></delect></b>
    <b id="w0gym"><thead id="w0gym"><i id="w0gym"></i></thead></b>
    <menuitem id="w0gym"><delect id="w0gym"><pre id="w0gym"></pre></delect></menuitem>

  1. <strong id="w0gym"></strong>
    • 產品名稱:進口ALD設備

      產品型號:

      產品報價:

      產品特點:進口ALD設備:ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供優異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

      進口ALD設備的詳細資料:

      進口ALD設備概述:原子層沉積是一項沉積薄膜的重要技術,具有廣泛的應用。ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續以及無孔的特性,可以提供優異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現到大基片上。

      進口ALD設備特點:

      • 占地面積小
      • 計算機控制,Labview軟件全自動工藝控制
      • 360A厚的AL2O3膜,誤差為±1A
      • 三維鍍膜,接近100%的階梯覆蓋率
      • 設備集成安全氣柜
      • 10mTorr的極限真空
      • 可支持6“,8”基片(升級支持12“,或定制更大尺寸)
      • 樣品臺可加熱至400℃(可選加熱到500℃)
      • 手動/自動上下載片可選
      • 支持多達7路的50ml的液態或固態前驅體瓶源

      進口ALD設備選配:

      • 下游式遠程平面ICP源或中空陰極離子源,支持PEALD
      • 自動上下片,單片或25片cassette
      • 增加額外的液態qia前驅體或額外的fan'ying反應氣路
      • 300l/sec的磁懸浮渦流分子泵,5*10-7Torr極限真空
      • 大尺寸的基片或fe粉末的沉積
      • QCM原位膜厚監控系統

      進口ALD設備應用:

      • Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc
      • Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..
      • Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS應用.
      • Nano laminates納米復合材料
      • 高K介質
      • 疏水性涂覆
      • 鈍化層
      • 高深寬比擴散阻擋層的銅連接
      • 微流控ying'yo應用的保形性涂覆
      • 燃料電池z中諸如催化層的單金屬涂覆 

       如果你對進口ALD設備感興趣,想了解更詳細的產品信息,填寫下表直接與廠家聯系:

      留言框

      • 產品:

      • 您的單位:

      • 您的姓名:

      • 聯系電話:

      • 常用郵箱:

      • 省份:

      • 詳細地址:

      • 補充說明:

      • 驗證碼:

        請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
       相關同類產品:
      NLD-4000(ICPM)PEALD系統  NLD-4000(ICPA)全自動PEALD系統  NLD-3500(A)全自動原子層沉積設備  NLD-3500(M)原子層沉積系統  NLD-4000(A)全自動原子層沉積系統  NLD-4000(M)原子層沉積系統  NLD-3000原子層沉積系統 
    尤物精品资源yw193网址_95sao国产成视频永久免费_亚洲日本va中文字幕久久_先锋国语自产一区第二页
      <b id="w0gym"></b>
      <menuitem id="w0gym"><thead id="w0gym"></thead></menuitem>
      <nobr id="w0gym"></nobr>

      <nobr id="w0gym"></nobr>
      <b id="w0gym"><delect id="w0gym"><i id="w0gym"></i></delect></b>
      <b id="w0gym"><thead id="w0gym"><i id="w0gym"></i></thead></b>
      <menuitem id="w0gym"><delect id="w0gym"><pre id="w0gym"></pre></delect></menuitem>

    1. <strong id="w0gym"></strong>