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光學鍍膜設備
聯系電話:021-62318025
光學鍍膜設備概述:NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統提供*進的技術,在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。
應用:
光學涂層
濺射
離子束輔助沉積
離子束刻蝕清洗
離子束輔助反應刻蝕
紅外涂層
表面處理
產品特點:
射頻偏壓樣品臺
膜厚監測儀
極限真空5x10-7Torr
高精度及高重復性
高品質膜層
原子級的潔凈表面
原子級清洗和拋光
通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制
自動上下載片
兩個腔體之間自動傳送
菜單驅動,4級密碼訪問保護
完整的安全聯鎖
占地面積46"D x 44"W
光學鍍膜設備選配項:
向下/向上濺射
共濺射
DC,RF以及脈沖電源
離子束輔助沉積
電子束源
等離子源
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